温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的实施例提供了一种半导体结构，包括：基板，具有空腔；内埋件，位于空腔中，内埋件具有开孔部；突起部，延伸至开孔部。本发明的目的在于提供一种半导体结构及其形成方法，以提高半导体结构的良率。高半导体结构的良率。高半导体结构的良率。
...
该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。