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本发明提供一种简单地形成具有10μm以下进而小于10μm的线宽的金属布线的方法。本发明的形成金属布线的方法包括：在基板上形成润湿性控制层的步骤，将含有选自由环烯烃聚合物、聚乳酸及它们的衍生物、以及由聚硅氮烷组成的组中至少一种的高分子材料的高...
该专利属于国立研究开发法人物质材料研究机构所有，仅供学习研究参考，未经过国立研究开发法人物质材料研究机构授权不得商用。

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