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描述了一种部件承载件(100)，该部件承载件包括：i)层叠置件(106)，该层叠置件包括至少一个电绝缘层结构(102)和至少一个电传导层结构(104)；ii)腔(108)，该腔形成在层叠置件(106)中；iii)介电元件(110)，该介电元...该专利属于奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司授权不得商用。
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描述了一种部件承载件(100)，该部件承载件包括：i)层叠置件(106)，该层叠置件包括至少一个电绝缘层结构(102)和至少一个电传导层结构(104)；ii)腔(108)，该腔形成在层叠置件(106)中；iii)介电元件(110)，该介电元...