下载感光性树脂组合物的技术资料

文档序号:30221750

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本发明的课题在于,提供即使延长显影时间对显影液的稳定性也优异的感光性树脂组合物等。本发明的解决手段是感光性树脂组合物,其含有(A)在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂、(B)在分子中含有至少2个以上烷氧基甲基的化合物和(C)光致产酸剂,(A)...
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