感光性树脂组合物制造技术

本发明专利技术的课题在于，提供即使延长显影时间对显影液的稳定性也优异的感光性树脂组合物等。本发明专利技术的解决手段是感光性树脂组合物，其含有(A)在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂、(B)在分子中含有至少2个以上烷氧基甲基的化合物和(C)光致产酸剂，(A)成分含有下式(A

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物


[0001]本专利技术涉及感光性树脂组合物。进一步涉及使用该感光性树脂组合物而得到的带支撑体的感光性膜、印刷配线板、半导体装置和印刷配线板的制造方法。

技术介绍

[0002]各种电子仪器中广泛使用的印刷配线板为了电子仪器的小型化、高功能化，要求薄型化、电路的微细配线化。
[0003]作为印刷配线板的制造技术，已知利用将绝缘层和导体层交替层叠的积层方式的制造方法。利用积层方式的制造方法中，一般而言，绝缘层中使用热固化性树脂组合物，阻焊剂层中使用感光性树脂组合物。
[0004]近年来，期望在形成层间绝缘层时也使用感光性树脂组合物，例如专利文献1~3中，公开了使用感光性树脂组合物形成绝缘层或阻焊剂的技术。
[0005]现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002
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139835号公报专利文献2：日本特开2018
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028690号公报专利文献3：日本特开2019
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060960号公报。

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题在使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.感光性树脂组合物，其含有：(A)在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂、(B)在分子中含有至少2个以上烷氧基甲基的化合物、和(C)光致产酸剂，(A)成分含有：包含下式(A
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1)所示的结构的化合物、包含式(A
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2)所示的结构的化合物、和具有式(A
‑
3)所示的结构的化合物，[化1]式(A
‑
1)中，R1各自独立地表示下式(a)所示的2价基团，X1各自独立地表示任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基、卤素原子、或任选具有取代基的1价杂环基；n1表示0~4的整数，m1表示1~200的整数；*表示键合位；式(A
‑
2)中，R2各自独立地表示下式(b)所示的2价基团、下式(c)所示的2价基团、由下式(b)所示的2价基团与下式(c)所示的2价基团的组合形成的2价基团、由下式(a)所示的2价基团与下式(b)所示的2价基团的组合形成的2价基团、或由下式(a)所示的2价基团与下式(c)所示的2价基团的组合形成的2价基团，X2各自独立地表示任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基、卤素原子、或任选具有取代基的1价杂环基；n2表示0~4的整数，m2表示1~200的整数；*表示键合位；式(A
‑
3)中，R3表示下式(a)所示的2价基团、下式(b)所示的2价基团、下式(c)所示的2价基团、或由它们的组合形成的2价基团，X3和X4各自独立地表示任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基、卤素原子、或任选具有取代基的1价杂环基；n3和n4各自独立地表示0~4的整数；[化2]
式(a)中，R
11
和R
12
各自独立地表示氢原子、任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基、任选具有取代基的1价杂环基、氨基、羰基、羧基、或由它们的组合形成的基团，R
11
和R
12

【专利技术属性】
技术研发人员：霞健一，
申请(专利权)人：味之素株式会社，
类型：发明
国别省市：