聚合物、含有聚合物而成的半导体组合物、以及使用了半导体组合物的膜的制造方法技术资料下载

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文档序号：30218063

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提供形成膜时可以减少升华物的新型聚合物以及包含该聚合物的组合物。根据本发明的聚合物(A)包含从以下描述的由单元(a)、单元(b)、单元(c)和单元(d)组成的组中选择的至少一个结构单元，单元(a)、(b)、(c)和(d)的各自的重复数n该专利属于默克专利有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过默克专利有限公司授权不得商用。

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