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文档序号:30217300
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本发明的离子枪包括:阳极;磁极,具有与所述阳极相对的内表面、设置在与所述阳极对应的位置上的狭缝和从所述内表面的一端向所述狭缝延伸且形成所述狭缝的一部分的内倾斜面;和罩,至少包覆所述内表面及所述内倾斜面且由具有导电性和非磁性的材料构造,所述罩...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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