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本实用新型公开了一种靶材背面固定式平面靶，包括：靶材、靶体、轭铁、磁铁、压板、绝缘套和屏蔽罩；靶体内部限定有容纳腔，容纳腔具有插入口，轭铁上设有磁铁，轭铁通过插入口插入安装到容纳腔内，轭铁上设有第一水流通道，轭铁的外侧壁、磁铁与容纳腔的内侧...
该专利属于深圳森丰真空镀膜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳森丰真空镀膜有限公司授权不得商用。

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