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一种用于半导体制程的晶圆清洁设备包括传送单元、热浸模块及烘干模块。传送单元用于将承载有晶圆的卡闸在第一位置以及第二位置之间移动，且传送单元在第一位置及第二位置时分别垂直地移动。热浸模块包括一清洗液。烘干模块包括第一吹气部、第二吹气部及转动元...
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