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本实用新型公开了一种高稳定性的干法刻蚀设备，本实用新型涉及干法刻蚀设备技术领域，高稳定性的干法刻蚀设备，包括底座和工艺箱，工艺箱位于底座上方，工艺箱左侧下端固定连接有安装板，安装板上面开有凹槽，凹槽内部上方设有连接板，连接板上面安装有真空泵...
该专利属于上海欧勋机电工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海欧勋机电工程有限公司授权不得商用。

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