下载一种用于晶圆应力测试的机械传动系统的技术资料

文档序号:30198903

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本申请提供了一种用于晶圆应力测试的机械传动系统,其中,所述机械传动系统包括点支撑结构、轴承座、驱动结构以及驱动结构支座,所述点支撑结构可转动地连接至所述轴承座,所述驱动结构可转动地连接至所述驱动结构支座,所述驱动结构可转动地连接至所述点支撑...
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