下载升降承载机构件的技术资料

文档序号:30193902

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本申请涉及一种升降承载机构件,其包括:载物盘,载物盘的一侧用于承载基板;限位件,设置于与载物盘承载基板一侧相对的另一侧;升降针,穿设于限位件和载物盘,升降针相对于载物盘和限位件可升降;升降盘,设置于限位件背向载物盘一侧,升降针一端抵靠升降盘...
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