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本申请公开了一种装载台，装载台用于承载提篮，提篮用于安装晶圆的胶膜框架，装载台包括本机及多个第一检测件，本体设置有多个检测位，多个第一检测件对应安装在多个检测位，在提篮搭载在装载台上时，第一检测件能够与提篮配合以检测提篮的尺寸。本申请还公开...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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