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本实用新型提供了一种用于生长N型碳化硅晶体的坩埚及装置,坩埚的顶部外壁向内凹陷形成环形气槽,环形气槽的圆心与坩埚顶部的圆心重合;该装置包括任一项的坩埚,还包括炉体,坩埚置于炉体内;炉体由下至上分别设置有第一通气孔和第二通气孔,第一通气孔用于...该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种用于生长N型碳化硅晶体的坩埚及装置,坩埚的顶部外壁向内凹陷形成环形气槽,环形气槽的圆心与坩埚顶部的圆心重合;该装置包括任一项的坩埚,还包括炉体,坩埚置于炉体内;炉体由下至上分别设置有第一通气孔和第二通气孔,第一通气孔用于...