下载用于制作电荷平衡(CB)沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件的技术的技术资料

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一种电荷平衡(CB)沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件可以包括电荷平衡(CB)层,所述CB层限定在具有第一导电类型的第一外延(epi)层内。所述CB层可以包括具有第二导电类型的电荷平衡(CB)区。所述CB沟槽MOSFET器...
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