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本实用新型提供了一种用于晶片成膜的可拆卸型加热盘，属于晶片成膜技术领域。该用于晶片成膜的可拆卸型加热盘包括支撑装置、加热盘组件和固定组件。所述支撑装置包括支撑箱和第一中空套，所述第一中空套贯穿固定在所述支撑箱的顶面，所述电缸的输出端贯穿所述...
该专利属于天津维普泰克科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津维普泰克科技发展有限公司授权不得商用。

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