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一种半导体生产用晶圆清洗装置，包括基座，所述基座的顶部固定连接有箱体，所述箱体的顶部和基座的顶部之间设置有自动清洗装置，所述自动清洗装置包括驱动座和第一水箱，所述驱动座的内腔均对称转动套接有丝杆，所述驱动座的一端均对称固定连接有伺服电机，所...
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