下载半导体装置及其形成方法的技术资料

文档序号:30171227

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本发明公开了一种半导体装置及其形成方法,包含衬底、多条位线、多个第一触点、第一间隙壁、第二间隙壁、多个第二触点以及金属硅化物层。位线设置于衬底上。第一触点设置于衬底上并与位线分隔设置。第一间隙壁、第二间隙壁设置在各个位线以及第一触点之间,并...
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