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本发明涉及硅片测量设备技术领域，公开了一种硅片测量装置。硅片测量装置包括固定架、测量单元和调整单元。测量单元包括均用于测量硅片厚度的第一测量组件和第二测量组件，第一测量组件与第二测量组件滑动设置于固定架并沿第一方向间隔设置。调整单元包括第一...
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