下载一种具有增强的抗辐射性能的模拟集成电路加工方法的技术资料

文档序号:30162165

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本发明提出了一种具有增强的抗辐射性能的模拟集成电路加工方法。所述方法包括:在硅衬底的隔离单晶区中形成含有源元件和无源元件的集成电路之后,将含有有源元件和无源元件的集成电路中的辐射敏感级联的晶体管制成复合形式的晶体管;通过α
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