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一种高精密金刚石抛光片的制备方法，属于加工刀具技术领域，通过以下步骤实现：先对SiC基体烧蚀形成阵列图案化图形，然后通过等离子体清洁基体表面，同时刻蚀形成光滑的锋利突起，最后再通过MPCVD法制备纳米金刚石抛光涂层，形成本发明专利由纳米金刚...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

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