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一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备，属于等离子刻蚀技术领域，其中的静电吸盘装置，包括基座及其上设置的静电吸盘，静电吸盘上放置待刻蚀的硅片或玻璃片，基座的外周方向上设置有多组压紧调节机构，多个压紧调节机构将玻璃片的外周压紧，本...
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