下载一种光刻胶树脂单体及其合成方法和应用的技术资料

文档序号:30159619

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本发明属于光刻胶树脂单体,公开了一种光刻胶树脂单体及其合成方法和应用,涉及光刻胶领域,所述树脂单体的结构为式Ⅰ:该结构中,n为1~10的整数,R1为氢、甲基或者氟代烷烃,R2为氢或者一价有机基团,且R2为一价有机基时,R2通过与相邻的O原子...
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