下载转印滚轮蚀刻制造设备及滚轮蚀刻装置的技术资料

文档序号:30150232

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本实用新型公开一种转印滚轮蚀刻制造设备及滚轮蚀刻装置。其中滚轮蚀刻装置包括:一旋转模块,用以将一金属滚筒设置于一中心轴线上,且能够驱动金属滚筒旋转;以及一蚀刻液喷射模块,具有至少一喷嘴,用以将蚀刻液喷射于金属滚筒和光阻层上,而能够对所述金属...
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