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本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆真空搬运机械手，包括第一机械臂、第二机械臂、取片叉、位于第一机械臂下端的驱动机构，还包括设法兰盘、机壳，第一机械臂包括第一外壳、下端与驱动机构连接且上端与第一外壳固定的第一转轴、与驱动机构连接的第一...
该专利属于绍兴赛致捷机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴赛致捷机电设备有限公司授权不得商用。

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