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圆筒型溅射靶的制造方法技术
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文档序号:30135794
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本发明包括:基底处理工序,在圆筒型靶材的内周面和圆筒型衬管的外周面中的至少任一个部件上涂布基底处理接合材料来形成0.1mm以上且0.8mm以下的第一基底处理层;及接合工序,在基底处理工序之后,将圆筒型衬管插入到圆筒型靶材内,并将熔融状态的填...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。
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