温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种碎片清理装置及电镀设备,所述碎片清理装置包括:用于盛放药液及待处理基板的工艺处理槽,所述工艺处理槽的槽体底部设有药液排出口,所述工艺处理槽的槽体侧壁上设有药液排入口;及,自循环排碎片系统,所述自循环排碎片系统包括连通于所述...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种碎片清理装置及电镀设备,所述碎片清理装置包括:用于盛放药液及待处理基板的工艺处理槽,所述工艺处理槽的槽体底部设有药液排出口,所述工艺处理槽的槽体侧壁上设有药液排入口;及,自循环排碎片系统,所述自循环排碎片系统包括连通于所述...