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本实用新型涉及石墨烯制取设备技术领域，尤其是涉及一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备。该弹性气密件设置在制备腔室的出口端，弹性气密件与制备腔室的出口端密闭连接；弹性气密件上设置有传送带组件上设置有供传送带组件穿过的通道；弹性气密...
该专利属于孙华所有，仅供学习研究参考，未经过孙华授权不得商用。

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