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本实用新型属于IT0靶材装置技术领域，尤其为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转...
该专利属于中山智隆新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山智隆新材料科技有限公司授权不得商用。

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