一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于IT0靶材装置技术领域，尤其为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转轮的外侧连接有转动轴，且转动轴的外侧连接有过滤板，所述收集槽的内部设置有夹板，且夹板的内侧设置有第一弹簧，并且第一弹簧的上端连接有滑板，所述安装栏设置于收集槽的上方，且安装栏的上方安装有第二电机，所述第二电机的外侧连接有螺纹杆，且螺纹杆的外侧连接有移动板，所述移动板的下方连接有伸缩杆。该便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，具备废料收集功能，且可以对装置自身进行清理。置自身进行清理。置自身进行清理。

【技术实现步骤摘要】
一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置


[0001]本技术涉及IT0靶材装置
，具体为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置。

技术介绍

[0002]IT0靶材装置是一种对IT0靶材加工完毕后，所留下的残留物进行再次处理的装置，其功能组要是提取残留物的剩余价值，提高物料的利用率，有效的降低了成本。
[0003]IT0靶材装置与人类的生活密切相关，但是IT0靶材装置使用时需要将废料进行收集，然而现有的IT0靶材装置不具备很好的废料收集功能，且不能对装置进行清理。
[0004]针对上述问题，急需在原有便于清洁和收集废料的ITO靶材装置的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有的便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，不具备很好的废料收集功能，且不能对装置进行清理的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽(1)和安装栏(11)，其特征在于：所述收集槽(1)的外侧安装有第一电机(2)，且第一电机(2)的外侧连接有第一转轮(3)，所述第一转轮(3)的外侧设置有传动带(4)，且传动带(4)的内侧设置有第二转轮(5)，所述第二转轮(5)的外侧连接有转动轴(6)，且转动轴(6)的外侧连接有过滤板(7)，所述收集槽(1)的内部设置有夹板(8)，且夹板(8)的内侧设置有第一弹簧(9)，并且第一弹簧(9)的上端连接有滑板(10)，所述安装栏(11)设置于收集槽(1)的上方，且安装栏(11)的上方安装有第二电机(12)，所述第二电机(12)的外侧连接有螺纹杆(13)，且螺纹杆(13)的外侧连接有移动板(14)，所述移动板(14)的下方连接有伸缩杆(15)，且伸缩杆(15)的外侧设置有第二弹簧(16)，并且伸缩杆(15)的端头处连接有清物块(17)，所述安装栏(11)的下方安装有气缸(18)，且气缸(18)的下方连接固定台(22)，所述固定台(22)的下方安装有第三电机(19)，且第三电机(19)的外侧连接有清洁杆(20)，所述收集槽(1)的内部设置有隔板(21)。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：葛春桥，崔恒，
申请(专利权)人：中山智隆新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：