下载一种性能可调控且稳定性高的阻变存储器的技术资料

文档序号:30103955

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本实用新型公开了一种性能可调控且稳定性高的阻变存储器,包括自下而上依次设置的衬底、底电极、阻变层和顶电极,阻变层是掺杂有Al的Ta2O5薄膜,其厚度为5
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