温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及半导体加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种半导体加工用硅材料热熔成锭装置,可以在硅材料装填不够的情况对硅材料进行添加,从而节省热能损耗,降低单晶硅生产成本,包括炉体,炉体的内部设置有加热器、保温筒、电极和坩埚,加热器与电极电...该专利属于致胜精工机电(天津)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过致胜精工机电(天津)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及半导体加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种半导体加工用硅材料热熔成锭装置,可以在硅材料装填不够的情况对硅材料进行添加,从而节省热能损耗,降低单晶硅生产成本,包括炉体,炉体的内部设置有加热器、保温筒、电极和坩埚,加热器与电极电...