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本实用新型涉及太阳能电池技术领域,具体涉及一种镀膜装置。镀膜装置包括载板以及辅助部件,载板上开设有凹槽,辅助部件位于凹槽内,辅助部件与凹槽的内壁之间形成一用于放置基片的镀膜空间,且镀膜空间与基片的形状相适配。上述镀膜装置,辅助部件与凹槽的内...该专利属于芯思杰技术(深圳)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯思杰技术(深圳)股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及太阳能电池技术领域,具体涉及一种镀膜装置。镀膜装置包括载板以及辅助部件,载板上开设有凹槽,辅助部件位于凹槽内,辅助部件与凹槽的内壁之间形成一用于放置基片的镀膜空间,且镀膜空间与基片的形状相适配。上述镀膜装置,辅助部件与凹槽的内...