下载一种半导体晶圆精准切割装置的技术资料

文档序号:30079710

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本实用新型涉及切割装置技术领域,具体为一种半导体晶圆精准切割装置,包括支撑座、平衡调节杆、底座、水平气泡、竖杆切割机、激光切割机、显微镜、放大镜、切割液箱、抽液泵以及置物台,所述平衡调节杆设置在底板顶底部,且贯穿底板,所述水平气泡设置在底板...
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