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本发明创造提供了一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，包括沉积箱体的工作台上对应布置的固定架和支撑架，在固定架上设置有用于固定芯棒的夹头杆；所述支撑架上设有用于实时监测芯棒重量的重力传感器；在工作台上安装有与重力传感器联系的沉积...
该专利属于通鼎互联信息股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通鼎互联信息股份有限公司授权不得商用。

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