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本发明实施例提供了一种半导体热处理设备及其装卸载腔室中氧含量的控制方法，所述方法包括：获取装卸载腔室当前的目标氧含量和检测氧含量；根据检测氧含量和目标设置氧含量，确定第一偏差值；根据第一偏差值确定初始吹扫流量；获取装卸载腔室的压力流量转换系...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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