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交错衍射光栅制造技术
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文档序号:30072653
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本发明公开了一种交错衍射光栅系统和过程。该交错光栅系统包括具有独特光栅密度的交替带的光学色散光栅,其中独特光栅密度的数量大于或等于2。光学色散光栅可以是反射性的或透射性的,并且其可以通过机械刻划、全息术或对二元掩模进行反应离子蚀刻来制造。交...
该专利属于统雷有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过统雷有限公司授权不得商用。
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