交错衍射光栅制造技术

本发明专利技术公开了一种交错衍射光栅系统和过程。该交错光栅系统包括具有独特光栅密度的交替带的光学色散光栅，其中独特光栅密度的数量大于或等于2。光学色散光栅可以是反射性的或透射性的，并且其可以通过机械刻划、全息术或对二元掩模进行反应离子蚀刻来制造。交错光栅为点光谱检测和高光谱成像提供了额外的用途。为点光谱检测和高光谱成像提供了额外的用途。为点光谱检测和高光谱成像提供了额外的用途。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】交错衍射光栅
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求2019年1月28日提交的美国临时专利申请第62/797,842号的权益。美国临时专利申请62/797,842的公开内容和全部教导通过引用并入本文。


[0003]本申请针对衍射光学器件和光谱成像领域。更具体地，本专利技术涉及用于点检测和光谱成像的多功能衍射光栅。

技术介绍

[0004]光学衍射光栅是一种具有周期性结构的光学部件，其将入射的光辐射(或光)分成作为角度函数的离散波长(或颜色)。光学衍射光栅使得单色仪能够从宽带光源或目标场景产生多种离散颜色的光。光学衍射光栅使得光谱仪能够量化来自宽带光源或目标场景的多种离散颜色的光的强度。光栅方程涉及光栅间距和衍射光的角度分布，λ：
[0005]d(sin θ
i
‑
sin θ
m
)＝mλ
ꢀꢀꢀ
(等式1)
[0006]因此
[0007]其中d为光栅间距，θ
i
为光辐射的入射角，θ
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种交错光栅(100)，包括：至少第一光栅带和第二光栅带的交替带；其中所述至少第一光栅带和第二光栅带具有独特的光栅密度(102、103)。2.根据权利要求1所述的交错光栅，其中所述交错光栅是反射性的。3.根据权利要求1所述的交错光栅，其中所述交错光栅是透射性的。4.一种线扫描高光谱成像系统(200)，包括：第一透镜(203)；狭缝(204)；准直透镜(205)；交错光栅(100)；第二透镜(206)；和二维检测器阵列(207)；其中所述第一透镜(203)配置成收集来自场景(201)的光并聚焦到所述狭缝(204)上，所述准直透镜(205)配置成将来自所述狭缝(204)的光准直到所述交错光栅(100)上，并且所述第二透镜(206)配置成将由所述交错光栅(100)分散的光聚焦到所述二维检测器阵列(207)上；其中所述交错光栅包括至少第一光栅带和第二光栅带的交替带，并且所述至少第一光栅带和第二光栅带具有独特的光栅密度。5.根据权利要求4所述的线扫描高光谱成像系统，还包括处理器，所述处理器配置成：从所述二维检测器阵列中提取对应于所述交错光栅的带的光谱数据；以及连接N个相邻光谱带以形成N
‑
1个光谱。6.一种点检测光谱仪系统(400)，包括：第一透镜(203)；狭缝(204)；准直透镜(205)；可变光栅(401)；第二透镜(206)；线性检测器阵列(402)；和平移台(403)；其中所述第一透镜(203)配置成收集来自场景(201)的光并聚焦到所述狭缝(204)上，所述准直透镜(205)配置成将来自所述狭缝(...

【专利技术属性】
技术研发人员：R，
申请(专利权)人：统雷有限公司，
类型：发明
国别省市：