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半导体集成电路装置制造方法及图纸
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文档序号:30072647
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在单元列(CRC)配置具有逻辑功能的反相器单元(C1)和不具有逻辑功能的终端单元(C11)。终端单元(C11)配置于单元列(CRC)的两端中的任一者。栅极布线(31)和虚设栅极布线(35a、35b、131~134)在Z方向上配置于同层。局部...
该专利属于株式会社索思未来所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社索思未来授权不得商用。
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