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本发明公开一种多晶硅合成中的四氯化硅提纯分离方法，包括：S1，将含四氯化硅的氯硅烷混合物在第一分离塔中进行分离，得到粗四氯化硅；S2，将粗四氯化硅在第二分离塔中进行分离提纯，将从第二分离塔的塔釜侧采出口采出的提纯后的四氯化硅进行回收循环利用...
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