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本发明涉及一种不使用ＸＹθ平台而精密地对准位置的基板位置对准装置。本发明的基板位置对准装置中，作为在２个基板（Ａ，Ｂ）相互维持平行的状态下，将上下保持板（１，２）中的一个相对于另一个向ＸＹθ方向自由地支撑调整移动的机构，从上下保持板（１，２...
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