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原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法技术
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文档序号:30045215
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一种原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法,属于材料物理特性标定技术领域。本发明针对由幅频曲线计算出的探针动态性能参数存在误差的问题。包括:由探针在空气中的幅频特性曲线得到探针的共振频率和品质因子;再结合探针在自由状态下的动力学方程和简谐...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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