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本发明公开了一种VCSEL的制备方法，涉及垂直腔面发射激光器技术领域。本发明的一种VCSEL的制备方法，所述方法将整个制备工艺进行简化，在进行电极金属沉积时，不使用蒸镀工艺，且摆脱了传统的双层胶工艺，在保证性能与良率的情况下，大大减少了制备...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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