下载两头磨削方法的技术资料

文档序号:30032001

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本发明的两头磨削方法包括:第1磨削工序,一边向第1晶片的第1、第2主面供给规定量的磨削液,一边进行磨削直至第1晶片的厚度成为规定厚度;纳米形貌测量工序,测量第1晶片的纳米形貌;及第2磨削工序,根据纳米形貌测量工序的测量结果,将磨削条件调整成...
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