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本发明提供一种缺陷修补装置，包括：一电磁波发射单元、一平台、一承载单元以及一流体冷却单元。该平台，其是提供承载待修补之一基板，该基板上具有一缺陷线路。该承载单元，其是设置于该电磁波发射单元与该平台之间，该承载单元是承载有一修补材料，该修补材...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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