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一种制备亚微米级金刚石薄膜的化学气相沉积装置，包括垫盘、托盘、石英窗和垫盘运动机构，垫盘、托盘、冷却盘和石英窗由上至下依次设置，垫盘连接在垫盘运动机构的动力输出端；垫盘内设置有加热装置。所述垫盘运动机构，包括支架、升降转轴、升降机构和旋转机...
该专利属于济南金刚石科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南金刚石科技有限公司授权不得商用。

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