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一种改进的氮氧传感器芯片制造技术
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下载一种改进的氮氧传感器芯片的技术资料
文档序号:30009212
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本实用新型公开了一种改进的氮氧传感器芯片,包括:圆片形状的陶瓷芯片基体,陶瓷芯片基体包括层叠烧结而成的N层氧化锆基片,第一层氧化锆基片的上表面设置有公共外电极,第二层氧化锆基片上依次设置进气口、第一泵氧腔室,第二泵氧腔室,进气口和第一泵氧腔...
该专利属于广东岭南职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过广东岭南职业技术学院授权不得商用。
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