一种改进的氮氧传感器芯片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改进的氮氧传感器芯片，包括：圆片形状的陶瓷芯片基体,陶瓷芯片基体包括层叠烧结而成的N层氧化锆基片,第一层氧化锆基片的上表面设置有公共外电极,第二层氧化锆基片上依次设置进气口、第一泵氧腔室，第二泵氧腔室，进气口和第一泵氧腔室之间、第一泵氧腔室和第二泵氧腔室通过圆弧状的通道连接；第三层氧化锆基片底部印制有参比电极，第三层氧化锆基片开设与外界相通的参比通道，参比电极与外界大气接触，第四层氧化锆基片底部印制有环形加热电极，环形加热电极的形状和陶瓷芯片基体的形状一致。本实用新型专利技术能在烧结过程中降低应力集中，还可以适当延长尾气通过时间，泵氧效率提高，加热温度均匀，改善加热性能。热性能。热性能。

【技术实现步骤摘要】
一种改进的氮氧传感器芯片


[0001]本技术涉及氮氧传感器
，具体涉及一种改进的氮氧传感器芯片。

技术介绍

[0002]气体传感器是现代发动机控制的核心部件，没有气体传感器测量出的准确参数，再好的控制功能也无法实现，因此，气体传感器技术一直是汽车产业政策所倡导的关键技术。氮氧化物(NO
X
)传感器测量柴油发动机尾气中一氧化氮(NO)和二氧化氮(NO2)的含量，用于控制发动机或者监测尾气排放后处理系统的工作状态，是发动机节能减排的关键部件。根据中国国5排放标准要求，氮氧化物传感器主要用在3.5吨以上的柴油车，监测SCR(选择性催化还原)系统的工作状态。更严格的中国国6排放标准实施之后，氮氧化物传感器还将用于柴油机的闭环控制。
[0003]氮氧传感器核心部件是氮氧传感器芯片，目前传统典型的氮氧传感器芯片结构基本都是长条形状，如图1。基体由6片氧化锆(a
‑
f)层叠烧结而成，也有5片或7片层叠烧结。汽车排放尾气中NO
X
由通道m通过第一氧化铝扩散障l进入第一腔o，尾气中的部分氧气被由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改进的氮氧传感器芯片，其特征在于，包括：圆片形状的陶瓷芯片基体,陶瓷芯片基体包括层叠烧结而成的N层氧化锆基片,N≧5；第一层氧化锆基片的上表面设置有公共外电极,公共外电极包覆第一多孔氧化铝保护层,第二层氧化锆基片上依次设置进气口、第一泵氧腔室，第二泵氧腔室，进气口和第一泵氧腔室之间、第一泵氧腔室和第二泵氧腔室通过圆弧状的通道连接；第三层氧化锆基片底部印制有参比电极，参比电极包覆第二多孔氧化铝保护层，第三层氧化锆基片开设与外界相通的参比通道，参比电极与外界大气接触，第四层氧化锆基片底部印制有环形加热电极，环形加热电极包覆绝缘致密氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑钢，田晶，张鉴隆，黄晓明，张立红，叶立清，刘岩，
申请(专利权)人：广东岭南职业技术学院，
类型：新型
国别省市：