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本实用新型涉及等离子体增强化学气相沉积技术领域，具体公开一种真空室，包括上部电极、真空室壁、气体扩散器、固定装置和绝缘块，上部电极、固定装置和气体扩散器设置在真空室壁的内侧，上部电极、固定装置和气体扩散器依次固定连接，绝缘块设置在固定装置、...
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