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本实用新型公开了一种用于晶圆高压测试探针盘，涉及点测机技术领域。本实用新型包括探针盘盘体、探针单元、定位销和水平调节座，探针盘盘体的上端呈环形等间距设置有多个氮气孔，每个氮气孔的周围均均匀设置有多个探针单元，氮气孔内插接有氮气气管。本实用新...
该专利属于常州雷射激光设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州雷射激光设备有限公司授权不得商用。

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